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離子鍍膜中的離子源介紹

2021-07-06

霍爾離子源是一種在強軸向磁場作用下對工藝氣體進行等離子體處理的陽極。軸向磁場的這種強烈不平衡使氣體離子分離并形成離子束。由于軸向磁場太強,霍爾離子源的離子束需要補充電子以中和離子電流。常見的中和源是鎢絲(陰極)?;魻栯x子源的特點是:

    1.簡單耐用。

    2、離子電流幾乎與氣體流量成正比,可以獲得更大的離子電流。

    3、鎢絲一般通過出線口,受到離子束的沖擊很快被腐蝕。尤其是反應性氣體,更換通常需要十幾個小時。而且,鎢絲也會受到相應程度的污染。解決鎢絲的缺點。有長壽命的中和器,貴州鍍鈦加工,例如小型空心陰極源。

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    霍爾離子源是應用較廣泛的離子源。離子源,例如Veece的MarkI和MarkII。適用于大多數家用離子源。

    如果鍍耐磨裝飾膜,膜厚大,要求與車身結合牢固,但均勻性不高。提供霍爾離子源。它具有高離子電流和高離子能級。如果鍍有光學膜,主要是要求離子流水平集中,離子流均勻性好。因此,較好使用考夫曼或射頻離子源。如果可能,您可以使用ECR(電子回旋加速器)或ICP(電感耦合)離子源。還要考慮耗材,例如鎢絲的霍爾源,它會在反應氣體中燃燒十小時。而先進的離子源,如ICP離子源,可以在反應氣體中連續工作數百小時。

    PVD燈的鋁涂層是真空鍍膜的。因為是金屬薄膜,直流磁控濺射當然好。高速。中頻適用于鍍復合膜。如果選擇離子源,霍爾離子源就足夠了。但要注意燈具的大小。一般霍爾離子源是圓形的,貴州鈦金廠 ,離子源的覆蓋范圍有限。您必須用離子束覆蓋所有工件。如果普通霍爾離子源太小,可以考慮陽極層離子源。離子源難以發光的原因之一是磁場太弱而無法激發等離子體。雖然離子源的種類很多,但基本上都是先產生等離子體,然后從等離子體中提取氣體離子并加速形成離子束,這樣就可以稍后注入電子,PVD真空鍍膜,并根據需要中和離子電流。



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